射頻匹配器是將13.56MHZ的信號從高功率射頻電源耦合到負載，根據(jù)用戶負載的變化，改變自身電機的的位置來調(diào)節(jié)拍內(nèi)部的電容和電感，從而達到阻抗匹配的目的，以減少反射功率的目的。