在工業(yè)設(shè)備中，等離子體的形成依賴于成熟的放電技術(shù)，典型的是射頻放電和直流放電。以射頻放電為例，射頻電源在電極間產(chǎn)生高頻交變電場，迫使電子在電場中往復(fù)振蕩并不斷加速，持續(xù)撞擊氣體粒子引發(fā)電離，當(dāng)?shù)入x子清洗機(jī)注入不同氣體發(fā)出輝光顏色不同，是因?yàn)榘l(fā)生了不同的物理反應(yīng)。利用等離子處理會發(fā)出輝光，又稱之為輝光放電處理。

 輝光放電在兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運(yùn)動，并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū) 。又因?yàn)檎x子的漂移速度遠(yuǎn)小于電子，所以正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)要大得多，讓整個(gè)極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。這也是輝光放電的顯（xian)著(zhu)特征，而且在輝光正常放電時(shí)，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發(fā)生變化。

 對于在等離子清洗機(jī)生產(chǎn)過程中使用的氣體，典型的顏色有：CF4:藍(lán)色SF6:淺藍(lán)SIF4:淺藍(lán)SICL4:淺綠色H2:淺綠色H2:粉色02:淺黃色N2:紅He:紅紫色Ne:磚紅色Ar:深紅等離子體清洗機(jī)，產(chǎn)生的亮色不僅可以用來識別過程氣體，還可以用來評估過程氣體中是否有污染物。

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